✅ 最終確認: 2026-04-04
⚡ 電気担当
🔧 保全担当
プロセス特性と電気計装の注意点¶
主要取り扱い物質と危険性分類¶
| 物質 | 用途 | 引火点 | 爆発範囲 | 毒性 | 計装上の主な注意 |
|---|---|---|---|---|---|
| 有機溶剤（フォトレジスト系） | リソマックス製造 | 低い（〜30℃程度） | 1〜数% | 有機溶剤中毒 | Zone 1/2判定・防爆機器必須 |
| アクリルアミド | 製品 | 138℃ | 2.8〜31% | 神経毒・発がん性 | 計器接液部SUS316L/PTFE必須 |
| 高純度窒素 | ブランケット | 不燃 | — | 窒息 | 酸素欠乏検知器の設置 |
リソマックス製造エリアの計装要件¶
高純度フォトレジスト用ポリマーの製造では「コンタミ（汚染）ゼロ」が最重要：
金属イオン混入リスク
計装機器の接液部から金属イオンが溶出すると製品不良になる。 接液部はSUS316L・PTFE・ハステロイC276のいずれかで選定。 銅合金・真鍮接液は禁止。
- サンプリングラインの純度管理：洗浄手順・デッドボリュームの最小化
- 静電気対策：溶剤ミストのある雰囲気での接地ボンディング徹底
- 防爆ゾーン：溶剤取り扱いエリアはZone 1/2として区域分類
アクリルアミド取り扱いエリアの注意点¶
アクリルアミドは神経毒・発がん性物質
皮膚吸収・吸入による被曝に注意。計装作業時は保護具着用必須。
- 計器校正・メンテナンス時のサンプリング残液の処理手順を確認
- 重合リスク：高温・紫外線・鉄分で重合が起こる可能性あり。温度計の誤指示で重合事故に至るケースあるため、温度計は二重化を推奨
- 水溶液は導電率が高く電磁流量計との相性は良い
酸素欠乏リスク（窒素ブランケット）¶
高純度製品の酸化防止に窒素ブランケットが多用される。
- 窒素パージエリア・閉鎖空間への立入前に酸素濃度確認（18%以上）
- 固定式酸素欠乏検知器の設置場所と警報設定値を把握しておく